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矩形平面阴极

矩形平面阴极

  • 所属分类:阴极部件
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  • 发布时间:2024-04-20 16:29:30
  • 产品概述
规格:

靶材宽度58,100,110,127,135,150,200mm

冷却方式:直接,间接冷却

磁场强度:普通,强磁

磁场类型:平衡,非平衡,高利用率,高溅射速率

适用电源:DC/Pulsed-DC/MF/RF(RF需说明)

特点:

1.高靶材利用率>40%,大大降低靶材费用

2.宽靶面刻蚀,减少靶面打火

3.磁钢不泡水,长阴极寿命

4.优化阴极冷却系统,最高使用温度可达到450℃

5.阴极冷却主动报警装置,降低阴极烧毁风险

6.可开发定制,提供阴极2D/3D图纸,方便设计人员选型

功能:用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积.

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