圆形阴极设计特点：
1.水冷采用大截面直接水冷结构，缩短磁铁和靶材间距；
2.主体支架采用聚四氟乙烯材料，提高了绝缘性能；
3.所有电的引入部分，采用高纯无氧铜材料，降低了接入电阻分布；
4.磁铁采用高均匀性钕铁硼材料，提高了水平磁场强度和分布均匀性。
磁控溅射阴极具有如下优点：
1.适用于高功率密度溅射，溅射速率高；
2.溅射阴极使用寿命长；
3.靶材利用率高，达到40%以上；
4.溅射薄膜厚度均匀性和成份一致性好，可以达到±3%以内。
圆形阴极规格：
阴极型号 | 挡板模式 | 适用电源 | 靶材规格 | 气路分布 | 磁场设计 |
2in.圆形阴极 | 手动、气动 | DC/P-DC/RF | Φ50mm | 可选 | 强磁/标准 |
3in.圆形阴极 | 手动、气动 | DC/P-DC/RF | Φ76mm | 可选 | 强磁/标准 |
4in.圆形阴极 | 手动、气动 | DC/P-DC/RF | Φ100mm | 可选 | 强磁/标准 |
