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磁控复合PECVD设备

磁控复合PECVD设备

所属分类：镀膜系统
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发布时间：2024-04-20 14:02:43

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产品概述

该系统由磁控溅射、PECVD、真空获得部分、真空测量部分、气路部分、电源控制部分等组成。可用于制备金属膜、介质膜以及实验室新材料研究领域。

当前网址：

https://www.shcwdj.com/dmxt/84.html

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